12-14
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中國國家實驗室用水規格 GB6682-92
名 稱 |
一 級 |
二 級 |
三 級 |
PH 值范圍( 25℃ ) |
- |
- |
5.0-7.5 |
電導率( 25℃ ) ,uS/cm ≤ |
0.1 |
1.0 |
5.0 |
比電阻( M Ω .cm.25℃ ) ≥ |
10 |
1 .0 |
0.2 |
可氧化物質 < 以( 0 )計 > , mg/L |
- |
0.08 |
0.40 |
< 吸光度( 254nm,1cm 光程) ≤ |
0.001 |
0.01 |
- |
蒸發殘渣( 105±2℃ ), mg/L≤ |
- |
1.0 |
2.0 |
可容性硅 < 以( sio 2 )計 > , mg/L< |
0.01 |
0.02 |
- |
中國國家電子超純水規格 GB/T1146.1-1997
級別、指標 |
EW-I |
EW-II |
電阻率 MΩ.cm ( 25℃ ) |
18 以上( 95% 時間)不低于 17 |
15 ( 95% 時間)不低于 13 |
硅 ≤µg/l |
2 |
10 |
>1µM 微粒數 ≤ 個 /ml |
0.1 |
5 |
細菌個數 ≤ 個 /ml |
0.01 |
0.1 |
銅 ≤µg/l |
0.2 |
1 |
鋅 ≤µg/l |
0.2 |
1 |
鎳 ≤µg/l |
0.1 |
1 |
鈉 ≤µg/l |
0.5 |
2 |
鉀 ≤µg/l |
0.5 |
2 |
氯 ≤µg/l |
1 |
1 |
硝酸根 ≤µg/l |
1 |
1 |
磷酸根 ≤µg/l |
1 |
1 |
硫酸根 ≤µg/l |
1 |
1 |
總有機碳 ≤µg/l |
20 |
100 |
對照《美國國家水質標準》
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